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树脂结合剂金刚石砂轮磨削蓝宝石的磨损过程研究

树脂结合剂金刚石砂轮磨削蓝宝石的磨损过程研究

蓝宝石具有优良的物理性能、光学性能、电学性能和力学性能,广泛应用于窗口、照明和半导体衬底等领域。同时作为氮化镓外延生长的衬底材料,在完成电极制备工艺后,需要对蓝宝石衬底进行背面减薄,以提高器件的散热性能,超精密磨削技术在快速减薄中具有去除速率高及可控性好等优势。蓝宝石快速减薄磨削主要使用金刚石砂轮,其中树脂结合剂金刚石砂轮因其原料来源丰富、成型简单、自锐性好、效率高、成本低等优点在金属、树脂、陶瓷3大种类砂轮中占60%~70%份额。砂轮的性能一定程度上决定了蓝宝石减薄磨削中的磨削效率及磨削后蓝宝石表面质量,而砂轮的磨损形式及砂轮的磨损过程决定磨削过程的稳定性。

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